- Multiple Sizes: 2", 3", 100mm
- Auto Dispense, backside rinse (BSR), 5 Cartridge Top Side Dispenses(360 mL)
- Spin Chuck, .75" (for 2 and 3" wafers), 2.25" (for 100 mm wafers)
- Hot plate, 400°C
- 110V AC
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| Brewer Science Coat/Back Track System CEE 4000 |
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