cassette-to-cassette rapid thermal processor
capable of processing wafers at temperatures up to
1200 degrees Celsius in inert or corrosive ambient.
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| AG Associates Heatpulse 8108 RTA |
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| AG Associates Heatpulse 8108 is a single-wafer cassette-to-cassette rapid thermal processor capable of processing wafers at temperatures up to 1200 degrees Celsius in inert or corrosive ambient. |
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